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| 品牌 | 上海比朗 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材 |
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M470*的平衡了高掃描率
出色的性能:
快速精確的閉環(huán)定位系統(tǒng)為帶你花些掃描探針那墨跡研究的需求而特別設(shè)計(jì)
*、靈活的工作平臺(tái):
系統(tǒng)可提供9種探針技術(shù)
M470 定位系統(tǒng):
超高分辨率掃描平臺(tái)允許更長(zhǎng)的行進(jìn)距離
M470全新一代掃描平臺(tái)擠成了更高的分辨率、更長(zhǎng)的行進(jìn)距離以及掃描速率
新交流掃描（ac-）和間歇接觸（ic-）掃描探針技術(shù)
采用20-bitDAC控制壓電范圍以及控制定位到0.09nm
M470產(chǎn)品特征：
? SECM 自動(dòng)處理曲線
? SECM用戶自定義處理曲線步長(zhǎng)變化
? 高分辨讀取
? 手動(dòng)或自動(dòng)調(diào)節(jié)相位
? 傾斜校正
? X或Y曲線相減（5階多項(xiàng)式））
? 2D 或3D快速傅里葉變化
? 試驗(yàn)探針移動(dòng)和區(qū)域繪圖的自動(dòng)排序
? 圖形實(shí)驗(yàn)測(cè)序引擎（GESE）
? 支持多區(qū)域掃描
? 所有實(shí)驗(yàn)多個(gè)數(shù)據(jù)視圖
? 峰值分析
M470技術(shù)參數(shù)
工作站（所有技術(shù)）
掃描范圍（x,y,z） 大于100nm
掃描驅(qū)動(dòng)分辨率 高0.1nm
閉環(huán)定位 線性零滯后編碼器
軸分辨率（x,y,z） 20nm
大掃描速度 12.5mm/s
測(cè)量分辨率 32-bit解碼器@高達(dá)40MHz
壓電（ic-和ac-掃描探針技術(shù)）
振動(dòng)范圍 20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量
小振動(dòng)分辨率 0.12nm(16-bit DAC,4μm)
壓電晶體伸展 100μm
定位分辨率 0.09nm(20-bit DAC ,100μm)
機(jī)電
掃描前端 500×420×675mm(H×W×D)
掃描控制單元 275×450×400mm(H×W×D)
功率 250W
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