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    1. 產品目錄
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      島津EPMA-8050G場發(fā)射電子探針

      產品型號: 更新時間: 2019-11-22
      島津EPMA-8050G場發(fā)射電子探針 從SEM觀察條件到1μA量級,在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場發(fā)射電子光學系統(tǒng)

      產品概述

      品牌其他品牌產地類別進口
      應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,電子

      [性能特點]

      ● 的空間分辨率

      電子探針可達到的級別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV)

      ,分析條件下的二次電子分辨率。

      (加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)

      ● 大束流超高靈敏度分析

      實現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的大束流。可超高靈敏度進行超微量元素的面分析

      。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。

      ● 高性能X射線譜儀

      秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角

      。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率
      。可同時搭載5通道高性能X射線譜儀
      。分析性能更勝*

      ● 全部分析操作簡單易懂

      全部操作僅靠一個鼠標就可進行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶界面

      。搭載導航模式
      ,自動指引直至生成報告。

       

      ◎實現(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術

       

      1 高亮度肖特基發(fā)射體

      島津場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更

      ,輸出更高
      。即可以保持其高亮度,還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)

      定大電流

       

      2 EPMA電子光學系統(tǒng)

      電子光學系統(tǒng)

      ,聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側,交叉點不是靠聚光透鏡

      形成

      ,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上,具有獨立構成與控制方式的可

      變光闌透鏡來形成交叉點的(:第4595778號)

      。簡單的透鏡結

      ,既能獲得大束流,同時全部電流條件下設定合適的打開角度
      ,將電子

      束壓縮到細

      。當然是不需要更換物鏡光闌的。

      3 超高真空排氣系統(tǒng)

      電子槍室

      、中間室
      、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2

      級差動排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小

      ,以控制流入中

      間室的氣體

      ,使電子槍室始終保持著超高真空,確保發(fā)射體穩(wěn)定工作

      4 高靈敏度X射線譜儀

      島津場發(fā)射電子探針多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀

      52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時,又可減小樣品對X射線

      的吸收

      ,實現(xiàn)高靈敏度的分析

       

       

       

      [應用舉例]

       

      1.   島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G檢測:無鉛焊錫焊料中Ag與Cu的分布

      對無鉛焊錫焊料中大量含有Ag的區(qū)域進行面分析的數(shù)據

      。(加速電壓:10kV;照射電流:20nA)
      Ag的X射線像中顆粒形狀與BSE像(COMPO)的顆粒形狀*
      。直徑約0.1μm的Ag顆粒也清晰可辨(紅色虛線圈出)
      。同時可確認Cu顆粒的存在(黃色虛線圈出)。

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