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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子 |
島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G 開創(chuàng)新紀(jì)元
——的空間分辨率與超高靈敏度的*結(jié)合
“The Grand EPMA” 誕生
搭載*場發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)將島津EPMA分析性能發(fā)揮到致。
從SEM觀察條件到1μA量級
,在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)。結(jié)合島津傳統(tǒng)的高性能X射線譜儀,將分析性能發(fā)揮至致。
當(dāng)之無愧的 “The Grand EPMA”
,高水準(zhǔn)的EPMA誕生!
[性能特點(diǎn)]
● 的空間分辨率
電子探針可達(dá)到的高級別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV)
,分析條件下的二次電子分辨率。(加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)
● 大束流超高靈敏度分析
實(shí)現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的大束流?div id="d48novz" class="flower left">
● 高性能X射線譜儀
秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角
。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率。可同時搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝*。● 全部分析操作簡單易懂
全部操作僅靠一個鼠標(biāo)就可進(jìn)行的*可操作性
。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導(dǎo)航模式,自動指引直至生成報告。
◎?qū)崿F(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術(shù)
1 高亮度肖特基發(fā)射體
島津場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更
大,輸出更高
。即可以保持其高亮度定大電流。
2 EPMA電子光學(xué)系統(tǒng)
電子光學(xué)系統(tǒng)
形成
變光闌透鏡來形成交叉點(diǎn)的(日本利:第4595778號)。簡單的透鏡結(jié)
構(gòu)
束壓縮到細(xì)