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島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G

產(chǎn)品型號: 更新時間: 2019-11-21
島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G從SEM觀察條件到1μA量級,在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)
。結(jié)合島津傳統(tǒng)的高性能X射線譜儀
,將分析性能發(fā)揮至致

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,電子

島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G 開創(chuàng)新紀(jì)元

——的空間分辨率與超高靈敏度的*結(jié)合

 

“The Grand EPMA” 誕生

搭載*場發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)將島津EPMA分析性能發(fā)揮到致。

從SEM觀察條件到1μA量級

,在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)
。結(jié)合島津傳統(tǒng)的高性能X射線譜儀,將分析性能發(fā)揮至致

 

當(dāng)之無愧的 “The Grand EPMA”

,高水準(zhǔn)的EPMA誕生!

 

 

[性能特點(diǎn)]

● 的空間分辨率

電子探針可達(dá)到的高級別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV)

,分析條件下的二次電子分辨率

(加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)

● 大束流超高靈敏度分析

實(shí)現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的大束流?div id="d48novz" class="flower left">

?沙哽`敏度進(jìn)行超微量元素的面分析
。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。

● 高性能X射線譜儀

秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角

。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率
。可同時搭載5通道高性能X射線譜儀
。分析性能更勝*

● 全部分析操作簡單易懂

全部操作僅靠一個鼠標(biāo)就可進(jìn)行的*可操作性

。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導(dǎo)航模式
,自動指引直至生成報告

 

◎?qū)崿F(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術(shù)

 

1 高亮度肖特基發(fā)射體

島津場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更

大,輸出更高

。即可以保持其高亮度
,還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)

定大電流。

 

2 EPMA電子光學(xué)系統(tǒng)

電子光學(xué)系統(tǒng)

,聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側(cè),交叉點(diǎn)不是靠聚光透鏡

形成

,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上
,具有獨(dú)立構(gòu)成與控制方式的可

變光闌透鏡來形成交叉點(diǎn)的(日本利:第4595778號)。簡單的透鏡結(jié)

構(gòu)

,既能獲得大束流
,同時全部電流條件下設(shè)定合適的打開角度,將電子

束壓縮到細(xì)

。當(dāng)然是不需要更換物鏡光闌的

3 超高真空排氣系統(tǒng)

電子槍室、中間室

、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2

級差動排氣系統(tǒng)

。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小,以控制流入中

間室的氣體

,使電子槍室始終保持著超高真空
,確保發(fā)射體穩(wěn)定工作。

4 高靈敏度X射線譜儀

島津場發(fā)射電子探針多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀

52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時

,又可減小樣品對X射線

的吸收,實(shí)現(xiàn)高靈敏度的分析

 

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