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      X射線光電子能譜特性分析及其優(yōu)缺點
      
            
      
              發(fā)布日期：
              2019-11-25
            
      
            
      
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      X射線光電子能譜
        ，簡稱XPS,別稱ESCAX射線光電子能譜學(xué)是近四十年來發(fā)展起
      來的一門綜合性學(xué)科
        。它與多種學(xué)科相互交叉，融合了物理學(xué)
        ，化學(xué)
      ，材料學(xué)，真空電
      子學(xué)
      ，以及計算機技術(shù)等多學(xué)科領(lǐng)域?div   id="jpandex"   class="focus-wrap mb20 cf">，F(xiàn)代X射線光電子能譜學(xué)已經(jīng)發(fā)展為一門獨
      立的
      ，完整的學(xué)科。它是研究原子
      ，分子和固體材料的有力工具
      。
       
      優(yōu)點:
      (1)可測除H、He以外的所有元素
      。
      (2)亞單層靈敏度;探測深度1~20單層
      ，依賴材料和實驗參數(shù)。
      (3)定量元素分析
      。
      (4)優(yōu)異的化學(xué)信息
      ，化學(xué)位移和伴峰結(jié)構(gòu)與完整的標(biāo)準(zhǔn)化合物數(shù)據(jù)庫的聯(lián)合使用。
      (5)分析是非結(jié)構(gòu)破壞的;X射線束損傷通常微不足道
      。
      (6)詳細(xì)的電子結(jié)構(gòu)和某些幾何信息
      。
      缺點:
      (1)典型的數(shù)據(jù)采集相對較慢，部分原因是由于XPS通常采集了更多的細(xì)節(jié)信息
      。
      (2)使用Ar離子濺射作深度剖析時
      ，不容易在實際濺射的同時采集XPS數(shù)據(jù)。
      (3)橫向分辨率較低
      ，15u(小面積)
      ， 3μ(成像)。
       
      
            
      
          
      
          
      
            
      
            
            
      
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