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X射線光電子能譜特性分析及其優(yōu)缺點

發(fā)布日期： 2019-11-25
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X射線光電子能譜
，簡稱XPS,別稱ESCAX射線光電子能譜學(xué)是近四十年來發(fā)展起
來的一門綜合性學(xué)科
。它與多種學(xué)科相互交叉，融合了物理學(xué)
，化學(xué)
，材料學(xué)，真空電
子學(xué)
，以及計算機技術(shù)等多學(xué)科領(lǐng)域?div id="jpandex" class="focus-wrap mb20 cf">，F(xiàn)代X射線光電子能譜學(xué)已經(jīng)發(fā)展為一門獨
立的
，完整的學(xué)科。它是研究原子
，分子和固體材料的有力工具
。
 
優(yōu)點:
(1)可測除H、He以外的所有元素
。
(2)亞單層靈敏度;探測深度1~20單層
，依賴材料和實驗參數(shù)。
(3)定量元素分析
。
(4)優(yōu)異的化學(xué)信息
，化學(xué)位移和伴峰結(jié)構(gòu)與完整的標(biāo)準(zhǔn)化合物數(shù)據(jù)庫的聯(lián)合使用。
(5)分析是非結(jié)構(gòu)破壞的;X射線束損傷通常微不足道
。
(6)詳細(xì)的電子結(jié)構(gòu)和某些幾何信息
。
缺點:
(1)典型的數(shù)據(jù)采集相對較慢，部分原因是由于XPS通常采集了更多的細(xì)節(jié)信息
。
(2)使用Ar離子濺射作深度剖析時
，不容易在實際濺射的同時采集XPS數(shù)據(jù)。
(3)橫向分辨率較低
，15u(小面積)
， 3μ(成像)。
 
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